1、双温度冷冻循环
冷冻系统通常设计成可以承受最大负荷，不管最大负荷发生得是否频繁。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由所有负荷中只占一小部分的极端热负荷来确定，这只是许多情况中的一两种。这会造成冷冻能力过剩，在负荷不足的情况下效率低下。当供给的冷冻水的温度较低时，冷冻机的工作效率也会很低。平均来说，冷冻水的供给温度每增加一华氏度，冷冻器效率就提高一个百分点以上。如果划分负荷，提供两个不同温度的冷冻水，那么工作效率将会更高
2、换气次数
无尘车间维持一定的空气流量来保持清洁度和颗粒数。流量根据每小时的换气次数来确定，同时这也决定了风机尺寸、建筑构型和能量消耗。在保持洁净度的前提条件下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次数降低20%就可以使风机的尺寸降低50%。空气洁净度比节约能耗更重要，但是最新的研究成果已经有降低洁净成本的记载了。
关于最佳换气次数还没有达成共识。许多原则都已过时，是建立在老观念上，采用低效的空气过滤器。调查显示，ISO第5级标准的洁净室推荐的换气次数变化范围是从250到700以上。
美国的一所国家实验室正在确定ISO第5级无尘车间的标准。研究显示，实际换气次数范围是90到250――比操作规程标准低很多，而且不会影响生产和洁净度。因此建议ISO第5级洁净室的换气次数大约是200，保守的上限是300。
3、马达效率
马达消耗了洁净室的大部分电能。连续运转的马达每月消耗大量的电力。 适当地提高效率、适当地调节尺寸，在翻新后，经济效果多半是不错的。效率增加几个百分点，利润就可增加。
使用优质高效的马达，不一定会花费太多。高效率意味着最小，在改变马达的尺寸之前先尽量减小负荷。在输出量变化时，利用变速驱动可以提高操作效率。