施工或维护期间及其后的清洁
无尘车间施工期问进行有效的清洁对抑制和消除污染源拿大秉要。动态无尘车间内的有效清洁与新建设时的有效清洁‘样重要。与维护自.关的程序见附录D。在计划、实施和编制文什时可以采用F.9中的10步清洁安排表的例子。附录D提供厂维护活动的指导说明。
c)对暴露出设施发生了不可接受的污染的情况进行监控。
可能有风险的区域内的T作廊该暂停,直到达到gJ‘接受的洁净度级别。
b)表面粒子检测法。
注 测量关键区表面洁净度的补充方法可见其它资料来源。
a)接触板浊(甲表面剧);b)表面抹拭法(小平坦的表面用)。
与建设有关的清洁计划根据用户的要求,可以采用卜.面的10-阶段计划,为升同的建设作业阶段有效地安排时间、分派任务和编制清洁程序文件.
153酒如果评定小于O.l ym的粒子造成的污染危险,应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和测量程序。
也应按照B.4.1确定采样点的数目,最小采样量无尘车间。应为2升。
x超微粒子的最大允许浓度(以每立方米空气超微粒子个数表示);y以微米计的粒径,适宜的离散粒子计数器对这种粒子计数的计数效率为50%。